1基あたり500億円、すなわちスカイツリー1本分相当のASML社製EUV露光装置。これを酷使するのがIntelの新プロセスノード「18A」その中核新トランジスタ「RibbonFET」の利点はどこに?新構造「PowerVIA」、その製造工程に含まれる「ウェアフリップ」についても解説します
https://www.itmedia.co.jp/pcuser/articles/2512/02/news083.html
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