最先端の半導体のステッパーはボロボロですね・・・。ただ集積度より安定性第一の自動車用とかはプロセスルールが緩く国内メーカーも多いのでニコンはそこの売り上げはある。

あと液晶露光装置（超大型のステッパー）で食ってる。が、こちらは有機ELがどのくらい浸食するか次第。