最先端の半導体のステッパーはボロボロですね・・・。ただ集積度より安定性第一の自動車用とかはプロセスルールが緩く国内メーカーも多いのでニコンはそこの売り上げはある。
あと液晶露光装置(超大型のステッパー)で食ってる。が、こちらは有機ELがどのくらい浸食するか次第。
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