フランドル地方での環境規制の影響でドライエッチング用の冷媒のシェア50%の工場が閉鎖されるらしい。 https://eetimes.itmedia.co.jp/ee/articles/2204/11/news069.html
3Mベルギー工場停止、驚愕のインパクト ~世界の半導体工場停止の危機も:湯之上隆のナノフォーカス(49) - EE Times Japan
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