アイルランドのFab34/44で現在生産中のIntel4はEUVを使ってるは使っているけど、めちゃくちゃ限定的で、工場の実態としてはArF液浸のクアドロプルパターニング。

フル（？）EUVの工場建設（Fab52/62）はかなり調整大変なんだろうなぁ。っていう。