10nmDRAMでArFクアドロパターニングやるっていう超絶技巧やってた元エルピーダ工場がついにEUVにっていうかついにASML製に・・・
https://www.bloomberg.co.jp/news/articles/2023-05-17/RUQFM9T0AFB401?srnd=cojp-v2
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