開口率を上げた次世代EUV露光装置はさらに巨大化、高額化するそうな。次世代プロセスはさらに需給がタイトになりそうだね・・・
https://twitter.com/ogawa_tter/status/1354449063102484481?t=nyXMQVYh5ReY9vFHoQjYDw&s=19
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