そしてそのさらに上をいく超高コスト生産がEUV露光装置だ。

開発期間の長期化や一社独占になったことにより製造装置があまりにも高い。結果出来上がる製品も高く、自動車メーカーなどは採用したくない。

なので、ダブルパターニングで安く大量に生産出来て需要のある20nm台のファブが日本で求められている。