ArF液浸は90nmから適応が始まって45nmまで順調に微細化した。その後の世代はシングル露光では光の波長上解像度が上げられないので半分ズラして露光するダブルパターニングによって微細化が進んだ。

ダブルパターニングはもっと昔からある技術なんだけど、製造のスループットが単純に半分に落ちるので非常に嫌われた技術。

でも当時EUVの目途は全く立たないししょうがないから採用が進んだ。