驚くのは半導体露光装置部門。EUV断念で死んだと思われていたがなんと新品のステッパー販売が8台から14台に増えており、EUVは高すぎてまだまだArFが売れるんだなという事が判る。
数年先はわからんけども。
FPD露光装置はあやしい。
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