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半導体製造プロセスのノード番号の計算式はASML standard node Formulaとして決まっている
Standard Node＝0.14×(CPHP×MMHP)^0.67
(CPHP:Contacted Poly Half-Pitch, MMHP:Minimum Metal Half-Pitch)
半導体製造プロセスのノード番号の計算式はASML standard node Formulaとして決まっている
Standard Node＝0.14×(CPHP×MMHP)^0.67
(CPHP:Contacted Poly Half-Pitch, MMHP:Minimum Metal Half-Pitch)
